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晶体硅研磨水回用处理设备


在晶体硅研磨、切片过程中需要用水进行清洗或冷却、润滑,这样会产生大量的废水。

这种废水中除了硅粉之外,其他的杂质的水质指标均与所使用的原水水质相接近。水中含有了大量的硅粉,以及少量的碳化硅颗粒和聚乙二醇。硅粉基本上是直径为 0.5~1μm的微细颗粒。这种废水直接排放,不但水中的悬浮物超标准,而且浪费大量水资源。因此,这种废水只要能够除去其中的硅粉颗粒,完全具有回收使用的价值,水可以回到生产线循环使用,硅粉也可以回收再利用。晶体硅研磨水回用处理设备

 

目前,常规的处理方法无法实现回收价值,并且存在以下问题:

l  直接排放:悬浮物不能达排放标准,且无法实现水和硅粉的回收利用,造成双重浪费;

l  化学沉淀处理:研磨废水中因颗粒极小,即便添加混凝剂和助凝剂仍无法获得很好的沉淀效果,处理效果差,效率极低;

l  滤芯过滤或袋滤的简单过滤处理:滤芯或滤袋因其孔径局限导致截留效果差,且通量小、易堵塞;

l  中空纤维膜回收处理:效果好但易污堵,清洗后通量难恢复,膜丝易断。

 

硅片生产中产生的研磨清洗废水收集到废水均质槽内,稳定水质和水量。然后用泵输送到废水浓缩槽,再由循环泵输送到管式微滤膜进行处理。废水在浓缩槽和管式微滤膜之间进行大流量的循环,这一过程中水透过膜连续送往产水槽进行回收利用。微滤膜截留的悬浮物(硅粉)被带回废水浓缩槽内不断富集,积聚到一定浓度后送到压滤机进行脱水处理,脱水后硅粉形成泥饼外运回收,脱离水则回到废水浓缩槽进一步处理。

针对以上情况,采用管式微滤膜(TMF)技术对晶体硅切片研磨清洗废水进行回用性处理:整个处理过程中不添加任何化学药剂。

 

三、工艺的技术优势:

1.   采用管式微孔过滤膜替代传统的重力沉淀,实现硅粉颗粒和水的高效分离。

2.   分离后的水回用至生产前端,硅粉也可以回收利用。

3.   回收率接近100%(仅极少量浓缩液需定期排放)。

4.   无需投加混凝剂和絮凝剂,不产生废水排放。

5.   系统占地面积小,自动化水平高,运行操作简便。

6.   采用管式大流量错流过滤,水流切向高速流过膜表面,在过滤的同时还有冲刷清洁膜表面的作用,污染物不易累积,膜面不易污染。

7.   采用烧结法成膜技术,膜管坚固耐用,杜绝了断丝泄漏现象的发生。

8.   0.05um的绝对过滤孔径,产水浊度<1NTU,可以有效的保护反渗透。

9.   管式微滤膜专门针对废水处理设计,具有出色的耐化学性和耐磨擦性

 


日期:2012.02.27

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